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型号：2450MHz程控微波功率源系列
说明：微波功率源
2450MHz 程控微波功率源
技术特点
● 该系列微波源可提供：1KW，1.5KW，2KW，3KW，5KW，10KW，六种型号的产品,都采用大功率水冷磁控管，性能先进，工作可靠。1KW可采用开关电源。
● 系统控制采用单片机与调整管和辅助线圈组成的自控设计方案，同时运用灯丝降压线路，实现微波输出功率低波纹，连续可调，它具有稳定性高，寿命长，保护措施完善，操作简单等特点。
● 系统提供手动和编程两种控制方式，并使用数码显示器分别显示输出功率，反射功率和工作时间。
● 本产品广泛地用与CVD金刚石和类金刚石膜、微波等离子体刻蚀、陶瓷烧结、ECR离子源以及其它系统中所需的微波源。
● 系统可根据要求自行选配环行器、电动销钉调配器、水负载、定向耦合器等匹配组件。
技 术 指 标 | |||||
型号 | GMG-2010 | GMG-2020 | GMG-2030 | GMG-2050 | GMG-2100 |
工作频率 | 2450MHz±15MHz | ||||
输出功率 | 0.1～1kw | 0.2～2kw | 0.3～3kw | 0.5～5kw | 1～10kw |
功率稳定度 | ±1%（满功率时） | ||||
功 耗 | 2kw | 3kw | 4.5kw | 8kw | 15kw |
电源 | 308VAC±5%/50MHz三相四线 | ||||
冷 却 水 | 3L/min | 3L/min | 4L/min | 4L/min | 6L/min |
输出波导 | BJ-26/FD-26法兰 | BJ-22/FD-22法兰 | |||
磁控管功率头 | 外置 | 内置 | |||
微波泄漏 | 符合国家标准 | ||||
联系电话：028-84372044 张经理：13628002725