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型号:GGH-11
说明:GGH-11氦质谱检漏仪最小可检漏率:1×10-11Pa•m3/s,漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa•m3/s ...
GGH-11型氦质谱检漏仪指标
一、检漏仪技术参数
1.最小可检漏率:1×10-11Pa·m3/s
2.漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa·m3/s
3.启动时间: ≤5min
4.响应时间:≤1S
5.检漏口最高压力: 1000Pa
6.检漏口对氦抽速: 1.5l/s
7.重量:75kg
8.工作环境: 温度:12 oC至40 oC, 相对湿度≤80%
二、检漏仪所配置的分子泵的技术参数
抽速L/S | 50L/S |
抽气时间(14L容积) | 80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar); |
155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar) | |
压缩比N2/He/H2 | 5×108/8×104/7×103 |
涡轮泵转速 | 36.000 RPM |
启动时间 | <60S |
安装位置 | 任意 |
运行温度 | 5°C – 50°C |
推荐前级泵 | DS42 DS302 |
入口法兰直径 | KF40 |
前级法兰直径 | KF16 |
重量 | 16.7Kg |
三、检漏仪所配置的机械泵的技术参数
抽气量 | 50HZ:4L/S |
抽速 | 50HZ:3L/S |
极限分压强 | 10-4mbar |
极限总压强 | 2×10-3mbar |
带气振阀的极限总压强 | 1×10-3mbar |
水蒸气压强 | 30mbar |
水蒸气容量 | 350g/h |
油体积 最小/最大 | 0.25/0.6 |
发动机功率 | 0.75kw |
转速 50HZ rpm | 1500 |
重量 | 25Kg |
进气口法兰 | 25KF DN |
排气口法兰 | 25KF DN |
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