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真空系统选择
日期:2021-08-23 浏览:4201 字号:A-AA+
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真空范围

真空度

工艺

真空系统

低真空

105~102Pa


*真空输运
*洁净室
*打印机自动进纸
*真空浓缩罐*真空浓缩(干燥)
*真空包装


*干式旋片泵系统
*油封旋片泵系统
*水封泵系统
*柱塞泵系统
*干式真空泵系统

中真空

102~10-1Pa

*真空充气装置
*真空干燥
*真空除气
*真空蒸馏
*真空热处理*真空炉
*真空冷冻干燥

*多级旋片泵系统
*罗茨泵系统
*柱塞泵系统
*扩散泵系统
*干式真空泵系统
*吸附泵系统

高真空

10-1~10-5pa

*真空镀膜
*真空冷冻干燥*真空蒸馏
*真空气体置换*真空密封
*真空焊接
*离子注入

*扩散泵系统
*涡轮分子泵系统
*吸附泵系统
*低温泵系统
*离子泵系统

超高真空

<10-5Pa


*电子显微镜*等离子体发生器
*表面研究
*材料分析
*原子核研究
*离子加速器
*物理学研究

*涡轮分子泵系统
*低温泵系统
*吸附泵
*涡轮分子泵系统
*低温泵系统
*离子泵系统


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