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氦质谱检漏仪 GGH-11

型号:GGH-11

说明:GGH-11氦质谱检漏仪最小可检漏率:1×10-11Pa•m3/s,漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa•m3/s ...


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型号:GGH-11

说明:GGH-11氦质谱检漏仪最小可检漏率:1×10-11Pa•m3/s,漏率显示范围: 1×10-4~1×10-11Pa•m3/s ...


GGH-11型氦质谱检漏仪指标

一,检漏仪技术参数
   
1.最小可检漏率:1×10-11Pa·m3/s
   
2.漏率显示范围: 1×10-41×10-11Pa·m3/s 

3.启动时间: ≤5min

4.响应时间:≤1S 
5.
检漏口最高压力:
 1000Pa 
6.
检漏口对氦抽速: 1.5l/s

7.重量:75kg

8.工作环境: 温度:12 oC40 oC, 相对湿度≤80%

二、检漏仪所配置的分子泵的技术参数

抽速L/S

50L/S

抽气时间(14L容积)

80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar);

155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar)

压缩比N2/He/H2

5×108/8×104/7×103

涡轮泵转速

36.000 RPM

启动时间

<60S

安装位置

任意

运行温度

5°C – 50°C

推荐前级泵

DS42   DS302

入口法兰直径

KF40

前级法兰直径

KF16

重量

16.7Kg


三、检漏仪所配置的机械泵的技术参数


抽气量

50HZ4L/S

抽速

50HZ3L/S

极限分压强

10-4mbar

极限总压强

2×10-3mbar

带气振阀的极限总压强

1×10-3mbar

水蒸气压强

30mbar

水蒸气容量

350g/h

油体积 最小/最大

0.25/0.6

发动机功率

0.75kw

转速 50HZ rpm

1500

重量

25Kg

进气口法兰

25KF DN

排气口法兰

25KF DN


 

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